第619章 下一代光源的抉择（4 / 4）

”

赵凯东便笑着摇了摇头：“虽然说光源要比光刻机领先很多，但193nm的光源现在都尚未用在光刻机上，你心慌也没用。”

“至于说下一代光源，其实我和老林并不十分看好157nm，因为HeF2激光可以说要完全推翻现有的光路系统，非但物镜要重新搞，光刻胶也要重新研制……最主要的是，波长步进提升不大，且投入产出比太高了。”

“EUV，听起来很不错，有点下一代光源的意思。但你看EUV联盟那架势……就不是我们这个小作坊能够完成的。”

苏远山便笑道：“有您二位在，咱们这实验室可不是小作坊。”

“呵呵，不管是不是，但设计师不是有句话吗？摸着石头过河……既然前面有人趟路了，那我们也干脆摸着石头过河就行了。”赵凯东笑道：“intel不是拉了那么多企业吗？你也可以拉一个嘛。”

苏远山：“……”

他算是听明白了，赵凯东的意思是，让他也搞个EUV联盟。

苏远山倒是想搞，可现在要是搞的话，那就不是远芯主导，而是所有人给霓国人打工。

于是他便望向林本坚。

“林叔？你有什么妙招没有？”

（注：虽然有点枯燥，但……总归还是得写。。。）