第二十六章：华夏芯片，席卷世界！（2 / 3）

自信科五院的院长他们，看到无尘车间里面去掉封装膜的这几十个大箱子，还没等后勤人员打开，就已经激动的去开始依次打开光刻机零件的盖子了！

“这个是……投影物镜？”

“不，看这个曲率，更像是euv机台反射镜。”

“机台反射镜……听说euv极紫外光刻机的机台反射镜的平面误差非常小……”

只是打开一箱子机台反射镜，以及是相关的组装设备，陈立伟院长，还有剩下的副院长院士就已经开始激动的讨论了起来！

毕竟这是华夏的第一台极紫外光刻机，几位老院长这么激动，也是正常的。

其中的一部分技术，有一些华夏现在正在研究之下已经是吃透了，剩下的还有一部分，华夏目前确实正还处在加大力度投入研究的状态！

这里还有几十大箱子的光刻机零件，秦风也想让这些老院士们好好的研究研究。

但是这么研究下去，也不知道要研究多长时间。

零件被拆解的非常分散，想被一一辨认出来，就得花不少时间。

而有了euv光刻机拆解还有组装技术的秦风，看到每一个零件，都能马反应出来这到底是什么零件，到底有什么用处。

所以秦风决定自己干脆先给众人介绍一遍自己带回来的这些光刻机的零件！

“这个确实是机台反射镜，”

秦风看着陈院长他们正在围观的那个装在透明盒子里面的一面结构复杂的镜面，说道：“如果把机台反射镜的直径换算成地球大小，那么其平面的误差只有头发丝那么细。”

什么？

在听到秦风的介绍之后，陈院长他们都是有些错愕！

他们错愕一是因为秦风这么清楚的知道光刻机的这个零件！

二是他们没想到，这极紫外光刻机的机台反射镜的精度，竟然这么高！

毕竟光刻机是在纳米层次进行光刻的精密仪器！

机台反射镜又是用来负责反射波长为10-14纳米的极紫外光的！

为了保持精准的控制，那么机台反射镜自然是要加工到误差非常极限的程度！

“这个误差，我们信科五院，还要再努力一些，让我们华夏自己生产的机台反射镜也达到这个精度啊！”

陈院长不由感叹的说道。

“陈院长，你也不用着急，这个精度，也并不是我们达不到的，在我们华夏目前技术加以改进，也能做出这个三