第一四七章 寻找外援（2 / 3）

大的光学研究所，王岸然生了一肚子的闷气。

刘本清教授在激光光源上耕耘一生，在1971年，参与了我国第一台紫光干涉激光的研制，在1980年，负责国家第一台接近式JL_01光刻机的研制。

他实在受不了，自己的研究工作，会受一个毛头伙子的指点。

而王黯然也是气不过，自己在光学研究所投了上千万，现在好了，就是增加一个浸没式光刻机的探讨研究，就这么难？

“王总，我再重申一遍，浸没式光刻机虽然在理论上可以缩投影图，不过在实际操作上，已经被证明了，这套技术行不通，研究下去就是浪费钱。”

“刘教授，我只是建议在这上面再做一些探讨，而且这项技术并没有证明行不通，而是还没有行通。”

刘本伟不屑一顾。

“王总，我跟你这句话是实事求是的，浸没式光刻技术在七八年前就有立项，其中的困难跟你，你也不清楚。

我只想明一点，有那个精力研究浸没式光刻机，把精力投到紫光激光光源上，效果会好的多。”

看来在这个时代，大家的普遍意识就是，搞浸没式光刻机是条绝路。

王岸然深吸一口气，犟鸭子嘴硬的科研人员太多了，自己当初也是他们的一员，跟刘本清生气，就是跟自己生气。

这些人要是犯气牛脾气来，能把天捅破，唯一的解决之道，就是以德服人，哦，不，是以理服人。

“超高纯度折射率液体，往往水里有一粒微尘，或者一个气泡，或者多了一些离子，都可能对加工造成巨大的影响。

再加上高纯水浮在晶片上，目前的光刻胶中的分子会溶进水中，造成液体介质污染，刘教授，我的没错吧！”

刘本清在王岸然第一句话的时候就愣住了，什么情况，他懂。

待到王岸然将两大技术难点合盘而出，刘本清道：“王总，你……？”

王岸然装着没看见，背过身，继续道：“除了两大问题，在实际操作中，也会面临平台的稳定性，校准系统，曝光时间等问题，需要按每台机器的类型多次调试……”

刘本清想给王岸然竖个大拇指，一声牛，这些资料可不怎么容易找到。

“王总，既然你知道浸没式光刻机的缺陷，还需要继续坚持吗？”

王岸然点点头，道：“为什么不！刘教授，高纯水介质我们可以自己研发也可以跟外国合作，厌水光刻胶我们也可以这么办，当然，